第(3/3)页 “民营企业搞科研，就算是再离谱，只要不违法，上面也不会轻易叫停。” “所以，这些批评的声音我一点都不在乎。” “这就是我为什么要创办一个银河科技的重要目的，有些研究，如果没有自有资金来源支持的话，根本无法推进下去。” “徐叔也是前辈了，光刻工厂这样的科研项目，如果依靠上面拨经费的话，通过的概率有多少，我想徐叔应该心里清楚。” “在我搞出白泽量子计算机之前，没有人会相信我会这么快搞出来。” “在我研发出‘力士’号火箭发动机之前，没有人会相信我能研发出来，都觉得我太过狂妄，如此跨界。” “现在，光刻工厂也被人质疑，我我根本没有半点解释的想法。” “时间会证明一切的。” 王东来说到这里，停顿了一下，脸上露出了一丝笑意。 “对于外人，我没有这个时间去解释，也不想去解释。” “但是徐叔不是外人，我也明白徐叔是为了我好。” “所以，我倒是可以和徐叔简单地聊一聊。” 徐松尧的眼睛一亮，顿时来了兴趣。 “徐叔应该知道SSMB的概念吧，SSMB光源最诱人的地方就在于它可以提供各种各样波长的射线，从波长13.5nm的极紫外线，再到5nm波长的软X射线，都能轻轻松松的提供，并且功率最大可以达到4kw，远超cymer公司的锡滴轰击法。” “不过同样的，SSMB也要进行原理验证试验，完成束流动力学，瓦光源物理设计和等等。” “这些工作，看上去很简单，但是都需要大量的时间。” “这要是申请科研经费的话，就是极大的缺陷。” “但是在银河科技这里，就不是什么问题了。” “……” 听着王东来的大致解释，徐松尧也有些明白了。 想了一下，就提出了自己的问题。 “东来，光刻机本来的能耗就很大，按照你的设想，直接做成了光刻工厂，那么能耗就更加严重了，这一点，你有没有考虑过？” 王东来轻轻笑了笑，就出声解释道：“徐叔，这一点，我当然明白。” “光刻机的能耗大，主要是因为它要维持金属蒸汽，产生高能打靶激光，产生的光在蒸汽中被吸收，深紫外线极其容易被物质吸收，光路上被反射膜、透镜和管道吸收等。” “而变成了光刻工厂的话，就主要集中在电子加速以及磁场维持，以及产生诱导激光和产生的的光在光路上被反射膜、透镜和管道上吸收。” “这个问题，我通过数学模型模拟了很多次，其实并没有想象的那么严重，光刻厂的总耗能确实是有可能要比光刻机大一些，但是因为光刻工厂的整体效率比光刻机高，所以平均下来的话，耗能并没有提升太多，还在可接受范围内。” 徐松尧没有停下，继续问出来了自己第二个问题。 “掩膜板的问题要如何解决，如果是利用多条光刻线路来完成的话，是不是就要多出数倍的掩膜板？” “高功率光源对于光器件的损伤更加严重，放到光刻工厂的话，损耗量和损耗速度，将会成倍数增加，这么一来，就等于是需要重新研发这些光器件，就连散热问题也要重视。” “第三个问题，那就是最重要的一个良品率问题。” “从光刻机变成光刻工厂，这不仅仅是理念的变化，更是一种方案的选择，光刻工厂的投入不小，更何况还是银河科技出资研发。” “那么这就要求光刻工厂是要盈利的，如果做不到这一点，光刻工厂就不能算是一个合格的设计方案。” “一个很浅显的道理，工艺步骤越多，对于良品率的影响就越大。” “如果光刻工厂的成本过高的话，光刻工厂的诞生意义其实就没有那么大了，从商业经济行为来看，这就是一个失败的选择。” “当然了，对于国家而言，只要能够突破封锁，那就是千金难换的，毕竟有些东西是不能用经济价值来衡量的。” “东来，这些问题，我不知道你是怎么考虑的。” “从我个人而言，我是希望你更多地考虑一下自己。” “可是从整体国家层面而言，我又希望你能突破这个难题。” “到底怎么做，我也给不了你什么意见，只要你不后悔，什么选择都可以！” 听到徐松尧这么说，王东来心里颇为感动。 “徐叔，你放心吧，我心里有数。” “光刻工厂一定会成功的！” 王东来坚定而又自信地对徐松尧如此说道。